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福州大学-晋江微电子研究院公开征集洁净实验室建设方案
发表日期:2020年9月22日 阅读:191

福州大学-晋江微电子研究院是晋江市政府与福州大学联合创办的研究机构,建设地址位于福州大学晋江科教园。研究院主要面向国家产业布局和创新发展需求,政、校、企联合,共建世界一流水平的微电子研究院。研究院将立足于原创性与基础性技术研究,吸引国内外半导体领域高端人才,面向产业与应用,开展新材料、新器件、新工艺和新产品研发,力争五年内把研究院建设成为服务于福建省微电子产业链企业的国家级微电子先导技术研发中心与公共研发平台。

洁净实验室建设是研究院建设的重要之重,为保障实验室高质量、高标准、安全快速地建成,现向全社会公开征集洁净实验室建设方案。

实验室整体介绍

洁净实验室由四个实验室组成总面积约1100平方米。为满足不同实验室不同的功能需求,洁净等级分为百级(ISO5级)、千级(ISO6级)和万级(ISO7级)。主要需求如下表:

 

编号

洁净室级别

面积(m2)

备注

实验室1

(一层)

百级

ISO5

150

去离子水

除空调、照明插座用电外仪器设备用电300kW

压缩空气,N2

2个有机通风橱

千级

ISO6

250

去离子水

压缩空气,N2O2ArNH3

2个无机通风橱,需要紧急淋浴装置,房间入口有更衣间,风淋室等

实验室2

(一层)

万级

ISO7

250

去离子水

除空调、照明插座用电外仪器设备用电200kW

压缩空气,N2O2ArH2CH4KrF预混气体,氦气

1个有机通风橱,房间入口有更衣间,风淋室等

实验室3

(三层)

万级

ISO7

200

去离子水

除空调、照明插座用电外仪器设备用电150kW

压缩空气,N2O2Ar

1个有机通风橱,1个无机通风橱,房间入口有更衣间,风淋室等

实验室4

(四层)

万级

ISO7

250

去离子水

除空调、照明插座用电外仪器设备用电150kW

压缩空气,N2

1个有机通风橱,房间入口有更衣间,风淋室等

 

 

实验室建设的总体原则为经济、实用。净化要求级别为百级ISO5级)、千级ISO6级)、万级ISO7级)。实验室设计有一更、二更、风淋和缓冲等区域。采用人流、物流分开原则,以减少实验污染,保证安全。洁净实验室必须保证人身安全、环境安全、废弃物安全和仪器安全,能长期稳定安全地运行,同时还需要为实验室工作人员提供一个舒适而良好的工作环境。

、建设方案具体要求

() 超净间功能布局

1. 根据实际场地和功能需求对一更二更、风淋室、实验区域、参观长廊、进货门、紧急逃生门等进行科学布局;

2. 各实验室均应设计紧急逃生门;

3. 各实验室应考虑设备搬入路径,预留足够尺寸的常闭搬入门,尺寸不小于2200 mm宽,2400 mm高度,按可拆门设计;一层设备进入路径需有缓坡,且承重不小于2吨。高层应考虑设备吊装入口。室内有隔墙的均需考虑设备进出通道。

4. 一层实验室洁净室内净高度2800 mm,三层和四层洁净室内尽可能保证净高2600 mm

5. 空调机组、制氮机、气瓶柜等放置在室外,对放置位置绿化带进行改造,室外屋顶采用铝合金,宽度约3米,栅栏采用密封围栏,保证美观安全,且应符合实验室安全相关规定。

6. 室外装置应考虑到台风等极端天气

7. 一层百级实验室装修后要求:振动 < 0.8 μm/sec (1.6 Hz16 Hz)< 1.0 μm/sec (>16 Hz);磁场 < 1 mG (< 625 Hz);噪声 < 70 dBC (31.5 Hz 100 Hz)< 60 dBC (>100 Hz)其余实验室装修后要求振动 < 1 μm/sec,噪声 < 60 dB

8. 室外空调机组等设备噪声<60 dB,振动< 1 μm/sec

 

() 净化系统

9. 温度、湿度、静压差、洁净度、新风量、换气次数等必须满足相应洁净室等级对应的要求;

10. 实验室的通风橱都放在楼栋的外墙侧,通风橱排气需集中后于外墙排至楼顶,并安装尾气处理装置;尾气主要包括有机通风橱使用有机化学试剂(如丙酮、异丙醇、无水乙醇、光刻胶等)时的挥发性气体,无机通风橱使用无机化学试剂(如盐酸等)时的挥发性气体。

11. 实验室位于海边,需考虑空气对设备的腐蚀,如新风机组采用全防腐机组,循环净化机组采用防腐涂层机组等;

12. 净化空调系统应采用低噪声产品同时采取隔声、消声、隔振等措施;

13. 空调机组要容易维护;

 

() 电气系统建设

14. 空调用电、设备用电、照明插座用电分开配置,考虑三相平衡

15. 设备用电的配电箱全部采用三相五线制到指定位置;

16. 室外单独做一个专用接地系统用于设备接地,最终接地电阻需满足小于0.5欧姆并在相关仪器处预留接地点;

17. 消防网络、电话点位监控等;

18. 室内照度需满足全屋工作面(地面以上750 mm)不低于300lx的要求,有化学品的室内需采用防爆灯具。

 

() 特气系统

19. 每种气体均有特种气体柜,特定气体需安装报警装置; 

20. 气瓶柜均放置在室外;危化品放置处也需有监控及泄露报警。

21. 采用制氮机及储气罐等设备供应普通氮气,采用制氮机制作普通氮气作为压缩空气使用;

22. 根据仪器设备需要在相应位置预留接气口并安装尾气处理装置;;

 

() 给排水

23. 安装去离子水发生器,每个通风橱都接通去离子水,去离子水电阻率=18.2 MW×cm,额定产水量 > 400 L/H

24. 根据仪器设备需要在相应位置预留给排水管道

 

三、时间安排

() 统一安排于2020925日在福州大学-晋江科教园教学实验楼B楼进行现场踏勘,现场提供房间的图纸及咨询,以便设计者充分了解现场水电气网络等情况;

() 设计方案需遵照国家标准《电子工业洁净厂房设计规范GB50472-2008》之规定;

() 设计方案应至少包括:设计图纸(水电气送回风排气管路等)、技术指标和性能、配套设备及材料、预算等;

() 在设计过程中所产生的一切费用由设计方承担。欢迎有志支持学校实验室建设的各界友商提供建设方案和建议。建设方案请在规定时间内发送到联系人邮箱;

() 联系人:李老师;E-mailtyl@fzu.edu.cn

() 方案截止日期:202010102400